中集安瑞科成功交付全国首台磷烷与氢气混合气管束式集装箱

近日,中集安瑞科旗下石家庄安瑞科气体机械有限公司(以下简称“石家庄安瑞科”)成功交付全国首台磷烷与氢气混合气管束式集装箱,标志着我国电子气体储运装备领域实现新的突破。



据了解,该管束式集装箱由中集安瑞科自主研发,是一种专用于批量储运磷烷与氢气混合气的特种设备。在半导体制备工艺中,需要经常采用一定浓度的磷烷和氢气混合气体(属于电子气体的一种),目前市面上这类气体储运主要采用高纯度高压气瓶(Y-ton气瓶)、小气瓶,而此次交付的管束式集装箱可储气13m³,单次运输的储气量等同于200个小气瓶的储气量,大幅降低气体公司的运营成本,满足半导体行业大量用气的需求。

同时,由于磷烷与氢气的混合气极易燃烧、具有强毒性,该装备在设计上做到“零泄露”,在管路与阀门之间完全采用轨道焊接,极大地提高了产品的安全性。

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